هدف اصلی در این پروژه مطالعه کلیه پارامترهای تاثیرگذار در آستانه تخریب لیزری قطعات اپتیکی آنهاست که به موجب آن بتوان پایداری این قطعات را در مقابل توانهای بالای لیزری افزایش داد در این تحقیق، پس از مطالعه اولیه در مورد مفاهیم خلأ، پمپ های خلأ، محفظه خلا و فشارسنج ها، پارامترهای مختلف رشد لایه مورد بررسی قرار گرفته است. همچنین روش های مختلف آنالیز سطح مانند اسپکتروفتومتر و میکروسکوپ روبشی که برای آنالیز نمونه ها مورد استفاده قرار گرفته اند، نیز مورد توجه قرار گرفته است. در ادامه، پس از مطالعه طراحی و ساخت فیلترهای اپتیکی، بهینه سازی آستانه تخریب لیزری برای فیلتر اپتیکی در طول موج 1064 که موضوع اصلی پروژه می باشد، مورد بررسی قرار گرفته است. بدین جهت، علاوه بر بررسی پارامترهای تاثیر گذارمختلفی مانند دما، مقدار فشار محفظه خلأ وآلودگی زیرلایه، طراحی خاصی را مورد مطالعه قرار دادیم.که تأثیر توزیع میدان الکتریکی را که مهمترین عامل در کاهش آستانه تخریب لیزری می باشد را به حداقل برسانیم. برای ساخت فیلتر اپتیکی از روش تبخیر باریکه الکترونی در خلا استفاده کرده ایم. لایه نشانی بوسیله دستگاه leybold a700 انجام گرفته است. همچنین از نرم افزار شبیه ساز macleod جهت شبیه سازی لایه های نازک مورد نظر استفاده می شود. طیف اپتیکی فیلتر توسط سیستم اسپکتروفتومتر carry 6000i اندازه گیری گردید. برای ریخت شناسی سطح لایه ها نیز از میکروسکوپ نوری و میکروسکوپ پروبی روبشی afm استفاده گردید. همچنیین برای بررسی آستانه تخریب نمونه ها از چیدمان طراحی شده با لیزرnd:yag بهره بردیم.