این پایان نامه به بررسی تاثیر دما و محیط بازپخت در نانو ساختار لایه های نازک اکسید مس می پردازد. لایه های نازک مس به روش تبخیر حرارتی در خلاء( pvd ) برروی زیر لایه های شیشه تهیه شده و سپس در محیط های مختلف در اتمسفر(هوا) و در حضور شار ثابت اکسیژن (cc/min 200) در دماهای c?400-200 باز پخت شدند. در مرحله بعد نیز به وسیه آنالیزی های پراش پرتو – (xrd)x و میکروسکوپ نیروی اتمی (afm) ساختار کریستالو گرافی و مورفولوژی سطح آنها تحلیل شد. نتایج تحلیل (xrd) نشان داد با نمونه های بازپخت شده در c?250و200 در محیط هوا دارای فاز cu2o و نمونه های بازپخت شده در c?400و350 در محیط هوادارای فاز cuo می باشند،در حالی که نمونه بازپخت شده c?300 دارای فاز مرکبی از cu2o/ cuo بود. این فازبرحسب دما دقیقا برای نمونه های بازپخت شده در شار اکسیژن نیز مشاهده شده اما با اندکی تفاوت. در دماهای c?400و350،250،200 شدت پیک ها بیشتر و fwhm پیک ها باریک تر شد. همچنین نمونه ها بازپخت شده در دمای c?300 فقط فاز cuo داشتند. نتایج تحلیل (afm) نیز نشان داد با افزایش دمای بازپخت اندازه دانه ها افزایش می یابد، اما رفتار زمختی سطح در محیط هوا و شار اکسیژن با دما متفاوت است.