در پایان نامه حاضر یک میکروتیر ترکدار که دارای ترک لبه ای است و تحت تاثیر بارگذاری ناشی از میدان الکترواستاتیکی قرار گرفته مطالعه شده است. در قسمت اول ترک به صورت یک فنر پیچشی بدون جرم که دو قسمت سالم تیر را به هم وصل می کند مدل سازی شده است و اثرات وجود ترک بر روی پاسخ استاتیکی و دینامیکی و همچنین پایداری سیستم تیر یکسر گیردار مطالعه شده و مقادیر بحرانی ولتاژهای اعمال شده تعیین شده است. در قسمت دوم، مدل یک درجه آزادی برای میکروتیر ترکدار با ترک تنفس کننده ارائه شده است. معادلات حاکم در این حالت به معادله ماتیو منجر شده است. این نوع مدلسازی مسئله برای مطالعه پارامتریک سیستم ارائه گردیده است در قسمت پایانی مدل تیر ترکدار با تئوری گرادیان کرنش الاستیسیته آنالیز شده است. ابتدا معادلات حاکم بر مسئله با استفاده از روش حساب تغییرات استخراج گردیده، سپس معادلات حاکم با روش خطی سازی گام به-گام حل گردیده است. نتایج به صورت خیلی دقیق نشان می دهند که تئوری حاضر سفتی سیستم را نسبت به تئوری های دیگر از جمله تئوری کوپل تنش و تئوری کلاسیک بیشتر پیش بینی می کند که در نتیجه، ولتاژهای بحرانی سیستم افزایش یافته اند. . در نهایت نتایج تحلیل و جمع بندی و پیشنهادات برای کارهای آینده آمده است.