ضخامت یکی از مهمترین پارامترهای مربوط به یک لایه نازک است که خواص مختلف لایه به آن مربوط می شود. روش-های مختلفی برای اندازه گیری ضخامت لایه نازک فلزی وجود دارد. ما در این پایان نامه با استفاده از تحریک پلاسمون های سطحی با ضخامت لایه فلزی را اندازه گیری کردیم. تحریک نوری ساده ترین راه برای مشاهده پلاسمون های سطحی در سطح فلز می باشد. تحریک می تواند با استفاده از کوپلاژ منشور با دو آرایش آتو و همکارانش و آرایش کرت اسکمان و راتر بدست آید. در اینجا ما ابتدا لایه فلزی نازک مس را مانند آرایش کرت اسکمان و راتر بر روی یک وجه منشور اندود کردیم. سپس نور لیزرهای دیودی را با طول موج های 4348 و 5320 آنگستروم را از کناره بر منشور تاباندیم. نور خروجی از لیزر را بوسیله قطبش گر، قطبیده کردیم. فقط موج تخت با قطبش tm بر سطح مشترک منشور و فیلم نازک فلزی، تابانده شد. امواج سطحی در مرز فلز – دی الکتریک با استفاده از کوپلاژ منشور تحریک گردید. طیف بازتاب داخلی کلی سیستم را با استفاده از آشکارساز اندازه گیری کردیم. ما ضخامت لایه فلزی مس را با شناسایی امواج تحریک شده در مرز فلز و دی الکتریک (هوا) اندازه گیری کردیم. برای انجام این کار، ما از افت های تیز در طیف بازتابندگی اندازه گیری شده برای طول موج های خاص استفاده کردیم. بنابراین با استفاده از روش ماتریس انتقال، ضخامت لایه فلزی را بدست آوردیم.