در این پایان‏نامه لایه‏های نازک دی‏اکسیدتیتانیوم با استفاده از روش تبخیر الکترونی روی بستره‏ی شیشه‏ای bk7 انباشت شدند. ویژگی‏های اپتیکی لایه‏ی نازک تولید شده با استفاده از طیف‏سنج uv-vis و خاصیت آب‏دوستی آن با استفاده از اندازه‏گیری زاویه‏ی تماس قطره با سطح تحت تابش فرابنفش، اندازه‏گیری شد. به‏منظور بررسی پارامترهای انباشت، نمونه‏ها در چهار دمای بستره و سه فشار متفاوت گاز اکسیژن انباشت شدند. همچنین بر روی نمونه‏ها در دمای 350 درجه سانتی گراد عملیات حرارتی صورت گرفت. مشاهده شد که با افزایش فشار جزئی گاز اکسیژن و افزایش دمای بستره، لایه‏ها دارای خواص آب‏دوستی بهتری می‏باشند. نتایج پراش پرتو x نشان می‏دهد که لایه‏ها پس از انباشت بی‏شکل بوده و در نتیجه‏ی بازپخت، لایه‏هایی که در دمای بستره‏ی 200 و 300 درجه‏ی سانتی گراد انباشت شده‏اند بلوری می‏شوند. همچنین خاصیت فوتوکاتالیستی با استفاده از دو نوع آلودگی متیلن‏بلو و اسید استئاریک توسط طیف‏سنج uv-vis و ftir مورد بررسی قرار گرفت.