طرح نگاری در ابعاد نانومتری یکی از گلوگاه های اصلی فناوری الکترونیک است که در ساخت مدارهای مجتمع کاربرد فراوانی دارد. گرچه سرعت طرح نگار الکترونی در مقایسه با طرح نگار نوری پایین تر است، اما این روش از چند جهت اهمیت دارد: وضوح بسیار بالا، سادگی نسبی، قابلیت تبدیل شدن به میکروسکوپ الکترونی روبشی، امکان ساخت ماسک برای طرح نگار نوری، کاهش هزینه ساخت و در نتیجه موازی سازی فرآیند. در این پایان نامه تمرکز روی طرح نگار مینیاتوری با المان های الکترواستاتیک بوده است؛