با توجه به کاربردهای متنوع اکسیدروی بر زیر لایه نیوبات لیتیم در صنایع الکترواپتیک و اکوستواپتیک و ساخت موجبرهای نوری کم اتلاف zno:linbo3 بررسی عوامل متنوع انباشت و حرارت دهی لایه zno بر بستره linbo3 اهمیت بسزایی می یابد. در این تحقیق اثر انباشت چندمرحله ای (مولتی لایه)، اکسیداسیون و پس بازپخت در محیط هوا با فشار کاهش یافته و تغییر آهنگ گرمایش مورد بررسی قرارگرفت. لایه های اکسیدروی با ضخامت 200 نانومتر با آهنگ انباشت nm/s5/1بر زیر لایه نیوبات لیتیم با برش x,y لایه نشانی گردیدند. خواص اپتیکی این نمونه ها همچون تغییرات توان عبوردهی، توان بازتاب، ضریب شکست در گستره 1100-200 نانومتر و نیز ضریب جذب، انرژی گاف نواری، انرژی اورباخ، ثابت های دی الکتریک و رسانندگی اپتیکی و خاصیت فوتولومینسانس در دمای oc400 و oc700 مورد مطالعه قرارگرفت. خواص ساختاری و مورفولوژی سطح نمونه ها نیز توسط طیف پراش اشعه(xrd) x ، میکروسکوپ الکترونی روبشی (sem) و میکروسکوپ نیروی اتمی afm بررسی گردید. نمونه انباشت شده در چند مرحله ضمن دارا بودن توان عبوردهی بالاتر، دارای نقایص ساختاری و گرمایی کمتری می باشد. به منظور بررسی اثر اکسیداسیون در هوا با فشارکم، نمونه اکسیدروی در محیط هوا بافشار torr5 حرارت دهی و با نمونه مشابه که در هوای آزاد اکسیدشده بود، مقایسه گردید. اکسیداسیون در فشار کاهش یافته باعث کاهش زبری سطح و نیز کم شدن میزان نقص های ساختاری و گرمایی در لایه می شود. ازسویی دیگر تابع توزیع اندازه ذرات درنتایج afm برای نمونه اکسیدشده در فشارکاهش یافته، دارای تقارن مناسبی می باشد. به منظور مطالعه اثر آهنگ گرمایش دو نمونه با شرایط یکسان تهیه و در دمای oc400 اکسید گردیدند، سپس این دو نمونه با آهنگ گرمایش 22 و 14درهوادردمای oc700 حرارت دهی شدند. نتایج نشان داد که با افزایش آهنگ گرمایش میزان نقص های موجود در لایه و زبری سطح افزایش می یابد.