میلاد بهزادی
دانشکده‌ی مهندسی هوافضا، دانشگاه صنعتی شریف
[ 1 ] - طراحی و ساخت فاصله‌سنج نیوماتیک برای سیستم خودکانون لیزر
در این نوشتار طراحی و آزمایش دستگاه تشخیص فاصله به‌منظور استفاده در سیستم خودکانون لیتوگرافی شرح داده می‌شود. این ریزسنج نیوماتیک، با توجه به فشار گاز درون نازلِ سرتخت که در مقابل صفحه قرار می‌گیرد، فاصله را اندازه‌گیری می‌کند. بدین منظور از مدار تفاضلی شامل یک مسیر مبنا و مسیر اصلی گاز استفاده شده و روابط حاکم بر اجزای آن شناسایی می‌شود. دستگاه معادلات متشکل از این روابط به روش محاسباتی حل می‌ش...
Co-Authors
رضا اسدی 1