حسین عباس‌زاده مبارکی

[ 1 ] - مروری بر ساختار سیستم‌های میکروالکترومکانیکی

فناوری سیستم‌های میکروالکترومکانیک، فناوری دستگاه‌های بسیار کوچک است و آن را در مقیاس نانو به سیستم‌های نانوالکترومکانیکی و فناوری نانو درمی‌آورد. اگرچه این فناوری در حال حاضر به روش آزمون و خطا طراحی می‌شود، اما حاصل تلفیق اجزای مکانیکی، حسگرها، محرک‌ها و قطعات الکترونیکی روی یک لایة سیلیکون به‌کمک فناوری ساخت تراشه‌های میکرونی است. تولید سیستم‌های میکروالکترومکانیکی به‌کمک یکی از بنیادی‌ترین ...