رضا مظفری نیا

[ 1 ] - تولید و مشخصه‌یابی پوشش محافظ ژرمانیوم-کربن

هدف از پژوهش حاضر، تولید پوشش محافظ ژرمانیوم-کربن به وسیله فرآیند رسوب‌دهی شیمیایی از بخار به کمک پلاسما (PECVD) با استفاده از پیش‌ماده‌های گازی ژرمان (GeH4) و متان (CH4) و سپس مشخصه‌یابی آن است. برای این منظور، از میکروسکپ الکترونی روبشی گسیل میدانی (FESEM) مجهز به طیف‌سنج تفکیک انرژی (EDS)، پراش‌سنج پرتو ایکس (XRD)، طیف‌سنج مادون‌قرمز تبدیل فوریه (FTIR)، طیف‌سنج فتوالکت...