نرگس علیمرادیان
کارشناسی ارشد، فیزیک، دانشگاه بوعلی سینا، همدان، ایران
[ 1 ] - شبیهسازی مونت کارلوی فرایند لایه نشانی با لیزر پالسی و بررسی تغییر فاصله هدف تا زیرلایه بر مشخصات لایهها
در این مقاله، فرایند لایه نشانی با لیزر پالسی و در حضور گاز پسزمینه به روش مونت کارلو شبیهسازی شده است. به طور خاص رشد فلز آلومینیوم در محیط گاز زنون پسزمینه و در فشار 50 میلی تور شبیهسازی شده است. فواصل هدف - زیرلایه برابر با 10، 15، 20، 25 و 30 میلی متر در شبیهسازیها مورد استفاده قرار گرفتهاند. اطلاعات مکانی و انرژی توده یونهای پلاسمایی شکل گرفته در این روش و نیز اطلاعات مشابه برای یو...
Co-Authors