مقایسه ویژگی نانو ساختاری اکسید آلومینیوم و اکسید تیتانیوم
Authors
Abstract:
Recently, high – K materials such as Al2O3 and TiO2 films have been studied to replace ultra thin gate silicon dioxide film. In the present work, these films were grown on the top of Si(100) surface at different temperatures and under ultra high vacuum conditions. The obtained results showed that Al2O3 has a structure better than that of TiO2 and thus can be used as a good gate dielectric for future MISFET (Metal – Insulator- Semiconductor- Field – Effect- Transistors) devices.
similar resources
رشد و بررسی خواص نانو ساختاری اکسید تیتانیوم و نیتراید آلومینیوم
We have grown TiO2 and AlN under ultra high vacuum and high pressure conditions and studied their structures with using AES and SEM techniques. The obtained results show that an amorphous film of TiO2 and AlN could be formed on silicon substrate. Furthermore, TiO2 and AlN are high – K dielectric materials and they can thus be replaced to ultra thin gate oxide film.
full textرشد و بررسی خواص نانو ساختاری اکسید تیتانیوم و نیتراید آلومینیوم
اکسید تیتانیوم و نیترید آلومینیوم را در شرایط به ترتیب فشار بالا و فشار بسیار پایین بر زیر لایه سیلیکونی رشد داده ایم و با استفاده از تکنیکهایی نظیر تابش سینکروترونی,( aes (auger electron spectroscopy و( sem (scanning electron microscope به مطالعه ساختار آنها پرداختیم. بررسیهای به عمل آمده نشان می دهند که فیلم آمورف اکسید تیتانیوم و یا نیترید آلومینیوم بر زیر لایه سیلیکون شکل گرفته است که این و...
full textﺑﺮرﺳﯽ ماشینکاری تخلیه‌الکتریکی ماده مرکب آلومینیوم تقویت شده با نانو ذرات اکسید تیتانیوم
نانو ذرات مورد استفاده در مواد مرکب زمینه فلزی دارای انواع مختلف و خواص فیزیکی، شیمیایی و مکانیکی متفاوتی می باشند که باعث بهبود سختی، مقاومت مکانیکی، سایش و خواص دمایی می شوند و قابلیت های ماشینکاری مواد را تغییر می دهند. در این تحقیق به بررسی پارامترهای ماشینکاری تخلیه الکتریکی ماده مرکب الومینیوم تقویت شده با نانوذرات اکسید تیتانیوم پرداخته می شود. هدف از این تحقیق بررسی تاثیر شدت جریان، ولت...
full textایجاد پوشش نانوکامپوزیتی نیکل/اکسید تیتانیوم/اکسید آلومینیوم به روش رسوب‌دهی الکتریکی
در این مطالعه، پوشش نانوکامپوزیتی نیکل – اکسید تیتانیوم – اکسید آلومینیوم به روش رسوب‌دهی الکتریکی از حمام وات در غلظت‌های مختلف ذرات اکسید، روی زیرلایه فولاد آلیاژی ایجاد شده است. افزایش ذرات تقویت‌کننده روی مورفولوژی سطح تاثیر گذاشت و سبب اصلاح دانه‌بندی ذرات پوشش شد. توزیع ذرات در پوشش روی خواص پوشش بررسی گردید. نتایج نشان داد با افزایش مقدار ذرات تقویت‌کننده در پوشش، میکروسختی افزایش می‌یاب...
full textMy Resources
Journal title
volume 31 issue 1
pages 51- 56
publication date 2012-06
By following a journal you will be notified via email when a new issue of this journal is published.
No Keywords
Hosted on Doprax cloud platform doprax.com
copyright © 2015-2023