تاثیر قرار دادن لایه نازک سیلیکون در زیر غشای دی‌الکتریک بر روی عملکرد یک میکروهیتر

Authors

Abstract:

با توسعه ریزفناوری میکروماشین­کاری و میکروالکترونیک، میکروهیترها کاربردهای زیادی در میکروحسگرها پیدا کرده­اند. یکنواختی توزیع دما یکی از عوامل تاثیرگذار در افزایش حساسیت و دقت یک حسگر گازی است که در آن هیتر استفاده شده است. در این مقاله روش قرار دادن لایه نازک سیلیکون در زیر غشای دی­الکتریک به منظور بهبود یکنواختی گرما در میکروهیتر، مورد بررسی قرار گرفته است. دو میکروهیتر پلاتینی با ساختار غشای معلق بر روی بستر سیلیکون و بر پایه فناوری میکروماشین­کاری حجمی طراحی، ساخته و مشخصه­یابی شده­اند. در میکروهیتر اول از لایه نازک سیلیکون به ضخامت µm10 در زیر غشای دی­الکتریک استفاده شده است در حالیکه میکروهیتر دوم بدون این لایه ساخته شده است. نتایج شبیه­سازی نشان می­دهد که با قرار دادن لایه نازک سیلیکون، یکنواختی توزیع دما و استحکام مکانیکی بهبود می­یابد درحالیکه توان مصرفی و پاسخ زمانی افزایش می­یابد. هم­­چنین نتایج تجربی به نتایج حاصل از شبیه­سازی بسیار نزدیک است و نشان می­دهد که میکروهیتر با لایه نازک سیلیکون به ضخامت µm10 برای رسیدن به دمای oC500 دارای توان مصرفی و پاسخ زمانی mW50 و ms23/4 به­ترتیب می­باشد ولی میکروهیتر ساخته شده بدون این لایه، برای رسیدن به این دما دارای توان مصرفی و پاسخ زمانی mW13 و ms4/2 است.

Upgrade to premium to download articles

Sign up to access the full text

Already have an account?login

similar resources

تاثیر قرار دادن لایه نازک سیلیکون در زیر غشای دی الکتریک بر روی عملکرد یک میکروهیتر

با توسعه ریزفناوری میکروماشین­کاری و میکروالکترونیک، میکروهیترها کاربردهای زیادی در میکروحسگرها پیدا کرده­اند. یکنواختی توزیع دما یکی از عوامل تاثیرگذار در افزایش حساسیت و دقت یک حسگر گازی است که در آن هیتر استفاده شده است. در این مقاله روش قرار دادن لایه نازک سیلیکون در زیر غشای دی­الکتریک به منظور بهبود یکنواختی گرما در میکروهیتر، مورد بررسی قرار گرفته است. دو میکروهیتر پلاتینی با ساختار غشای...

full text

بررسی تاثیر روی هم قرار دادن پاها در وضعیت نشسته بر میزان فشار خون در مبتلایان به پرفشاری خون

زمینه و هدف: یکی از عوامل احتمالی خطا در اندازه گیری فشارخون روی هم قراردادن پاها از ناحیه زانو در حالت نشسته هنگام اندازه گیری فشار خون می باشد و مطالعات انجام شده در این مورد نتایج متناقص ارایه داده اند. لذا، پژوهش حاضر جهت بررسی اثر روی هم قرار دادن پا ها در وضعیت نشسته بر روی فشار خون در بیماران دارای پر فشاری خون انجام گردید. مواد و روش ها: این مطالعه به صورت نیمه تجربی انجام شد و جامعه پ...

full text

ترکیبات فعلی همراه با «قرار دادن / قرار گرفتن» در فارسی

با اینکه تقریباً همه صاحب نظران معتقدند که در زبان فارسی افعال مرکب نسبت به افعال ساده از تعداد و زایایی بسیار بیشتری برخوردارند، ولی در این میان، به آن دسته از افعال که با همکردهای مرکبی مانند قرار دادن، قرار گرفتن، وارد کردن، به عمل آوردن و مواردی از این دست می‌آیند، توجه چندانی نشده است؛ بر همین اساس در این نوشته به توصیف و بررسی ترکیباتی پرداخته شده است که با همگردهای مرکب قرار دادن و قرار گ...

full text

بررسی تاثیر کاشت یون نیتروژن بر خواص لایه نازک اکسید روی (ZnO)

در این پژوهش، اثر کاشت یون +N در نیم‌رسانای ZnO (اکسید روی) جهت بررسی تغییرات خواص لایۀ نازک ZnO  بررسی شده است. بدین منظور لایۀ نازکی از ZnO به ضخامت nm ١٢۰ با استفاده از روش کندوپاش تهیه شد و سپس به وسیلۀ یون­های N+ با انرژی keV ۵۰ و شار ١۰١٤ (/cm2یون) به مدت زمان ۳ ثانیه بمباران شد. تأثیر کاشت یون+N در خواص بلوری ZnO توسط آنالیزXRD (پراش پرتو X) و تغییرات ریخت­شناسی سطح به وسیلۀ آنالیزهای AF...

full text

تأثیر لایه­ نازک PEDOT:PSS روی زیر لایه ITO، بر خواص سلول خورشیدی آلی دو لایه­ای شامل فولرن و فتالوسیانین مس

در این تحقیق دو نمونه سلول خورشیدی با استفاده از مواد آلی فولرن (60C) به عنوان پذیرنده الکترون (نوع n) و فتالوسیانین مس (CuPc) به عنوان پذیرنده حفره (نوع p) در خلاء حدود mbar6-10 ساخته شده است. الکترود شفاف نمونه اول فقط از یک لایه� ITO تشکیل شده است در حالی که در نمونه دوم یک لایه اضافی از ماده PEDOT:PSS را نیز روی ITOلایه نشانی کردیم تا تأثیر این لایه را بر منحنی ولتاژ ? جریان سلول مورد بررسی...

full text

بررسی تاثیر محل قرار دادن لوله های تمپانوستومی در پرده صماخ بر سرعت دفع آنها

سابقه و هدف: یکی از مهمترین مشکلات بیمارانی که نیازمند میرنگوتومی و گذاشتن لوله های تمپانوستومی (Vt ،Ventilation tube) هستند دفع سریع و زودرس آنها می باشد. این تحقیق به منظور بررسی تاثیر محل قرار دادن Vt در پرده صماخ بر سرعت دفع آنها، در بخش گوش و حلق و بینی بیمارستان لقمان انجام گرفت. مواد و روش ها: 35 بیمار مبتلا به اتیت میانی مزمن توام با تجمع مایع دو طرفه مورد مطالعه قرار گرفتند. برای همه ب...

full text

My Resources

Save resource for easier access later

Save to my library Already added to my library

{@ msg_add @}


Journal title

volume 9  issue 3

pages  93- 106

publication date 2015-11-22

By following a journal you will be notified via email when a new issue of this journal is published.

Hosted on Doprax cloud platform doprax.com

copyright © 2015-2023