استفاده از روش لیتوگرافی نرم جهت ایجاد میکروساختارها روی بستر آب‌دوست‌شده پلیمر PMMA

Authors

  • احمد عفیفی دانشگاه صنعتی مالک اشتر - دانشکده برق و الکترونیک
Abstract:

روش‌های ساخت لیتوگرافی نرم به دلیل سادگی و هزینه پایین و سازگاری مناسب آن‌ها با تولید انبوه امروزه توجه محققین در زمینه ساخت سیستم‌های میکروالکترومکانیکی قرار گرفته‌اند. در این مقاله، روشی مفید و کم‌هزینه برای ایجاد میکرو ساختارها با استفاده از برجسته‌سازی گرم در مواد پلیمری ارائه گردیده است. مهر مورد استفاده برای این کار از جنس پلیمر SU-8 بوده که روی یک زیرلایه شیشه‌ای ساخته‌شده است. فرآیند حرارتی مورد استفاده در این روش شامل پارامترهای مهمی همچون دما و فشار می‌باشد که همگی مورد بررسی قرار گرفته‌اند. برای اینکه بتوان از ساختار ایجادشده در ابزارهای میکروسیال استفاده نمود، بستر آب‌گریز PMMA، آب‌دوست گردیده تا بتوان از آن در ابزارهای میکروسیال استفاده نمود. همچنین در این مقاله ساختارهایی با کمینه ابعاد 15 میکرومتر و ارتفاع 50 میکرومتر ساخته‌شده‌اند که برای کاربردهای میکروفلویدیکی قابل قبول می‌باشد. ویژگی‌های بارز این روش ساخت، سادگی به دلیل عدم به‌کارگیری تجهیزات پیشرفته آزمایشگاهی و هزینه کم به سبب استفاده از زیرلایه شیشه‌ای برای مهر و ورق‌های پلکسی به‌عنوان بستر می‌باشند.

Upgrade to premium to download articles

Sign up to access the full text

Already have an account?login

similar resources

استفاده از روش لیتوگرافی نرم جهت ایجاد میکروساختارها روی بستر آب دوست شده پلیمر pmma

روش های ساخت لیتوگرافی نرم به دلیل سادگی و هزینه پایین و سازگاری مناسب آن ها با تولید انبوه امروزه توجه محققین در زمینه ساخت سیستم های میکروالکترومکانیکی قرار گرفته اند. در این مقاله، روشی مفید و کم هزینه برای ایجاد میکرو ساختارها با استفاده از برجسته سازی گرم در مواد پلیمری ارائه گردیده است. مهر مورد استفاده برای این کار از جنس پلیمر su-8 بوده که روی یک زیرلایه شیشه ای ساخته شده است. فرآیند حر...

full text

تحلیل تجربی و عددی شکست پلیمر PMMA تحت مود مرکب

معمولاً بروز شکست در پلیمرها بر اثر اعمال بارگذاری ترکیبی کششی – برشی به وقوع می‌پیوندد. آزمایش آرکان که در اصل برای مواد کامپوزیتی طراحی شده است، در سال‌های اخیر توسط بسیاری از محققان برای مواد همگن مورد استفاده قرار گرفت. در این پژوهش برای دستیابی به مقادیر بحرانی شکست، نمونه های آزمون به شکل پروانه ای از جنس پلیمر پلی متیل متاکریلات تهیه شد. آزمون نمونه ها در سه طول ترک مختلف و سه مود اول و م...

full text

اثر پلاسمای rf بر روی خواص سطحی پلیمر pmma

در این پایان نامه اثر پلاسمای رادیوفرکانسی اکسیژن بر ویژگی های سطحی پلیمر pmma از جمله زاویه تماس، انرژی سطح، زبری و سختی سطح و همچنین مورفولوژی سطح بررسی شده است. پلاسمای گازی توسط مولد رادیوفرکانسی 6/13 مگاهرتز تولید شده است. تغییرهای ایجاد شده بر سطح پلیمر بر اساس تابعی از زمان پردازش مورد مطالعه قرار گرفته است. در ابتدا زاویه تماس نمونه ها و انرژی آزاد آن ها توسط روش اونز- وندت اندازه گیری ...

15 صفحه اول

ایجاد پوشش روانکار جامد دی سولفید مولیبدن روی فولاد با استفاده از روش رسوب بخار شیمیایی

دی سولفید مولیبدن (MoS2) یکی از پرکاربردترین روانکارهای جامد است که به روش‌های مختلف، روی سطوح تحت سایش اعمال می‌شود. در این پژوهش با استفاده از روش رسوب بخار شیمیایی (CVD) پوشش MoS2 در دماهای 400، 500، 600 و 700 درجه سانتی­گراد، روی زمینه فولادی اعمال شد. پوشش با استفاده از EDX، XRD، FTIR، سختی سنج و زبری سنج، مشخصه یابی شد. نتایج نشان داد که با تبخیر همزمان پودر گوگرد و ...

full text

کاربرد روش سطح پاسخ برای تخریب فتوکاتالیستی رنگ با استفاده از نانولوله های اکسید روی بر روی بستر کربن فعال

در این کار اکسید روی با مورفولوژی لوله بر روی کربن فعال (ZnO NRs-AC) با استفاده از روش هم رسوبی برای تخریب نوری رنگ مالاشیت گرین (MG) تحت نور UV سنتز شد. فتو کاتالیست با استفاده از تکنیک های مختلف از جمله XRD و FE-SEM مشخص شد. طراحی Box-Behnken (BBD) همراه با روش سطح پاسخ (RSM) برای بهینه سازی پارامترهای تأثیرگذار مورد استفاده قرار گرفت. مقادیر بهینه برای پارامترهای مربوطه به شرح زیر است: مقدار...

full text

لیتوگرافی با استفاده از فروسیال

فروسیالی بر پایه آب حاوی نانوذرات مگنتایت (fe3o4) و مگمایت (fe2o3-?) به روش هم رسوبی تهیه گردید. نتایج طیف سنجی فرابنفش – مرئی (uv-vis.) وجود هر دو فاز مگنتایت و مگمایت را نشان می دهد. نمونه های مختلفی تولید و مورد بررسی قرار گرفت. تصاویر میکروسکوپی گرفته شده از لایه ی فروسیال تحت تاثیر میدان مغناطیسی، موید تشکیل الگوهایی به صورت نقاط تاریک می باشد. این الگوها با تغییر شدت میدان مغناطیسی تغییر ...

My Resources

Save resource for easier access later

Save to my library Already added to my library

{@ msg_add @}


Journal title

volume 46  issue 2

pages  127- 133

publication date 2016-07-22

By following a journal you will be notified via email when a new issue of this journal is published.

Hosted on Doprax cloud platform doprax.com

copyright © 2015-2023