Numerical analysis of particle growth zone in diffusion mixing CVD reactor.
نویسندگان
چکیده
منابع مشابه
Simulation-based design and analysis of advanced CVD reactor systems
The paper discussed the development of a simulator for the Programmable CVD Reactor system using the modular simulation approach. The design of the Programmable Reactor lends itself very naturally to a modular approach because of the segmented showerhead design while each segment is a fairly complex component, with individually controllable reactant gas supply and residual gas exhaust, the desi...
متن کاملanalysis of power in the network society
اندیشمندان و صاحب نظران علوم اجتماعی بر این باورند که مرحله تازه ای در تاریخ جوامع بشری اغاز شده است. ویژگیهای این جامعه نو را می توان پدیده هایی از جمله اقتصاد اطلاعاتی جهانی ، هندسه متغیر شبکه ای، فرهنگ مجاز واقعی ، توسعه حیرت انگیز فناوری های دیجیتال، خدمات پیوسته و نیز فشردگی زمان و مکان برشمرد. از سوی دیگر قدرت به عنوان موضوع اصلی علم سیاست جایگاه مهمی در روابط انسانی دارد، قدرت و بازتولید...
15 صفحه اولEquilibrium analysis of zirconium carbide CVD growth
A chemical equilibrium study was performed to investigate the effect of growth parameters on the constitution in ZrC films grown by chemical vapor deposition (CVD). The equilibrium analysis of the Zr–C–H system demonstrated that ZrC (fcc) deposition is favorable and that a certain minimum amount of hydrogen should prevent co-deposition of elemental carbon over a wide range of temperature, press...
متن کاملNumerical analysis of reaction-diffusion effects on species mixing rates in turbulent premixed methane-air
The scalar mixing time scale, a key quantity in many turbulent combustion models, is investigated for reactive scalars in premixed combustion. Direct numerical simulations (DNS) of three-dimensional, turbulent Bunsen flames with reduced methane-air chemistry have been analyzed in the thin reaction zones regime. Previous conclusions from single step chemistry DNS studies are confirmed regarding ...
متن کاملذخیره در منابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
ژورنال
عنوان ژورنال: KAGAKU KOGAKU RONBUNSHU
سال: 1990
ISSN: 0386-216X,1349-9203
DOI: 10.1252/kakoronbunshu.16.557